快科技6月30日消息，在衛星激光通信中，光束控製精度關(guan) 乎通信質量，快速反射鏡猶如“精密心髒”。

近日，中國科學院上海微係統與(yu) 信息技術研究所研製出集成角度傳(chuan) 感器的高性能MEMS快反鏡，鏡麵尺寸大、封裝體(ti) 積小，性能優(you) 良，在激光衛星通信方麵潛力巨大。

該快反鏡曆經近五年才研製成功，采用雙層異構集成與(yu) 晶圓級鍵合工藝，體(ti) 積僅(jin) 一枚1元硬幣大小。

封裝後的MEMS快反鏡

它攻克傳(chuan) 統機械快反鏡和原有MEMS快反鏡的技術瓶頸，打造出航天級產(chan) 品，指向精度達μrad量級，滿足星載應用的超高性能指標。

受手機屏幕啟發，團隊利用矽壓阻應變原理集成片上角度傳(chuan) 感器，通過結構創新使靈敏度提升63%，優(you) 化光束控製精確性。

測試結果表明，在特定頻率下，角度精度達標，最大動態表麵形變僅(jin) 2納米。

官方打了一個(ge) 比方，這就相當於(yu) 在足球場大小的鏡麵上，所有起伏不超過一根頭發絲(si) 的直徑，滿足遠距離衛星激光通信對鏡麵麵型的嚴(yan) 苛要求。