湖北日報訊(記者馬文俊)8月19日從(cong) 九峰山實驗室獲悉,實驗室團隊近日在磷化銦(InP)材料領域取得重要技術突破,成功開發出6英寸磷化銦(InP)基PIN結構探測器和FP結構激光器的外延生長工藝,關(guan) 鍵性能指標達到國際領先水平。這一成果也是國內(nei) 首次在大尺寸磷化銦材料製備領域實現從(cong) 核心裝備到關(guan) 鍵材料的國產(chan) 化協同應用,為(wei) 光電子器件產(chan) 業(ye) 化發展提供重要支撐。

九峰山實驗室6英寸磷化銦PIN探測器外延片
作為(wei) 光通信、量子計算等領域的核心材料,磷化銦(InP)材料的產(chan) 業(ye) 化應用長期麵臨(lin) 大尺寸製備的技術瓶頸,業(ye) 界主流停留在3英寸工藝階段,高昂的成本使其無法滿足下遊產(chan) 業(ye) 應用的爆發式增長。
九峰山實驗室依托國產(chan) MOCVD設備與(yu) InP襯底技術,突破大尺寸外延均勻性控製難題,首次開發出6英寸磷化銦(InP)基PIN結構探測器和FP結構激光器的外延生長工藝, 關(guan) 鍵性能指標達到國際領先水平,為(wei) 實現6英寸磷化銦(InP)光芯片的規模化製備打下基礎。

九峰山實驗室外延工藝團隊
在全球光電子產(chan) 業(ye) 高速發展的背景下,光通信、激光雷達、太赫茲(zi) 通信等領域對磷化銦(InP)的需求呈現爆發式增長。據Yole預測,磷化銦(InP)光電子市場規模2027年將達56億(yi) 美元,年複合增長率(CAGR)達14%。6英寸磷化銦(InP)工藝的突破,有望推動國產(chan) 光芯片成本降至3英寸工藝的60%-70%,有助於(yu) 增強國產(chan) 光芯片市場競爭(zheng) 力。
九峰山實驗室本次聯合國內(nei) 供應鏈實現全鏈路突破,對促進我國化合物半導體(ti) 產(chan) 業(ye) 鏈協同發展有著重要影響,也為(wei) 產(chan) 業(ye) 鏈自主可控奠定了基礎。例如,九峰山實驗室本次技術突破中6英寸磷化銦(InP)襯底合作方雲(yun) 南鑫耀的6英寸高品質磷化銦單晶片產(chan) 業(ye) 化關(guan) 鍵技術已實現突破,量產(chan) 在即。未來,實驗室將持續優(you) 化6英寸InP外延平台,推動下遊產(chan) 品驗證,提升產(chan) 業(ye) 鏈自主可控能力,推動我國光電子產(chan) 業(ye) 升級。
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