摘要：用激光幹涉法丈量誤差的原理，通過計算機控製的誤差補償(chang) 係統對數控機床的定位誤差進行補償(chang) ，實驗結果表明這種方法可以大幅度進步數控機床的定位精度。
關(guan) 鍵詞：激光幹涉；數控機床；定位誤差；誤差補償(chang)

1　前言

隨著我國國民經濟的飛速發展，數控機床和加工中心作為(wei) 新一代的工作母機，在機械製造中已得到廣泛的應用，精密加工技術的迅速發展和零件加工精度的不斷進步，對數控機床的精度提出了更高的要求，定位誤差是影響數控機床加工精度、產(chan) 生加工誤差的主要因素。因此，對數控機床的定位精度進行檢測和補償(chang) 是保證加工質量的有效途徑。本文就是基於(yu) 上述思想，利用激光幹涉丈量原理，通過誤差補償(chang) 係統對數控機床進行檢測和補償(chang) ，使其定位精度得到明顯進步。

2　激光幹涉丈量原理

激光幹涉丈量原理如圖1所示。

圖1　激光幹涉丈量原理圖
1 激光器；2 λ/4片；3 分光器；4 檢偏器；5 接收器；6 偏振分光器；7，8 反射鏡；9 棱鏡

將Ｈｅ-Ｎｅ激光器1置於永久磁場中，由於塞曼效應使激光原子譜線分裂為旋轉方向相反的左右圓偏振光。設兩束光振幅相同，頻率分別為ｆ1和ｆ2(ｆ1和ｆ2相差很小)。左右圓偏振光經λ/4片2後變成振動方向相互垂直的線偏振光。分光器3將一部分光束反射，經檢偏器4形成ｆ1、ｆ2拍頻信號，由接收器5接收為參考信號；另一部分光束通過分光器3進進偏振分光器6，其中平行於分光麵的頻率為ｆ2的線偏振光完全通過分光器6到達可動反射鏡8，可動反射鏡8以速度ｖ移動時，由於多普勒效應產生差頻Δｆ，這時ｆ2變成(ｆ′=ｆ2+Δｆ)；而垂直於分光麵的頻率為ｆ1的線偏振光完全發射到固定反射鏡7。從反射鏡7和8發射回來的兩束光到偏振分光器6的分光麵會合，再經轉向棱鏡9、偏振器10，由接收器11接收為丈量信號，丈量信號與參考信號的差值即為多普勒頻率差Δｆ。計數器在時間ｔ內計取頻率為Δｆ的脈衝數Ｎ相當於在ｔ區間內對ｆ積分，即：

故丈量間隔ｌ為

ｌ=(λ/2)Ｎ

式中　Ｎ--累計脈衝數
λ--激光波長
ｃ--光速

因此，當移動可動反射鏡8時，可通過累計脈衝數得到丈量間隔。當把丈量間隔與數控機床上的光柵尺讀數相減時，即可得到數控機床的定位誤差[1]。

3　數控機床定位誤差補償係統

數控機床定位誤差補償係統如圖2所示。該係統由六部分組成：數控機床、雙頻激光幹涉儀、誤差丈量接口、誤差補償接口、計算機和打印機等。圖2中，數控機床是誤差補償對象，雙頻激光幹涉儀用於丈量誤差，計算機是係統的核心，在補償軟件的治理下，通過丈量接口可用雙頻激光幹涉儀自動丈量數控機床的定位誤差，由誤差補償接口對數控機床的定位誤差進行補償，誤差數據可通過打印機輸出。 #p#分頁標題#e#

圖2　數控機床定位誤差補償(chang) 係統

當機床低速運動時，計算機通過誤差丈量接口按一定的位移間距對雙頻激光幹涉儀測出的誤差數據采樣處理，並發出相應的補償信號；通過誤差補償接口將誤差傳給數控機床的ＣＮＣ係統，由數控機床完成相應的補償。這樣每到一個補償點，計算機便發出一次補償信號，由數控機床進行一次補償，直到行程終點。

但是，上述逐點誤差補償一般隻適用於低速運動的情況，當機床處於高速運動時，由於係統響應速度跟不上機床的運動，使誤差補償係統不穩定以致於不能正常工作。根據機床高速運動時一般不進行加工這一特點，可按如下方法來設計高速補償軟件。當機床從低速變為高速運動時，通過軟件補償係統脫離補償狀態，即在高速運動期間不進行誤差補償；機床回到低速運動時，計算機算出高速運動期間機床移過的位移而不進行數據采樣，待係統恢複低速運動時再進行逐點補償[2]。

為進一步進步補償精度，在確立補償點時可對補償點間距進行細分，細分可由硬件電路實現。

圖3　數控機床定位誤差補償(chang) 曲線

4　實例

對一台型號為ＹＣＭ-ＶＭＣ-65Ａ的加工中心的的Ｘ軸定位誤差進行檢測，補償前後誤差曲線如圖3所示。補償前其Ｘ軸定位誤差曲線為Ａ，最大誤差為57 6μｍ，經過補償後，其Ｘ軸定位誤差曲線為Ｂ，最大誤差僅為6 6μｍ。

5　結束語

用激光幹涉原理來檢測和補償數控機床的定位誤差是一種較為實用的方法，可以明顯地進步數控機床的定位精度，使其工作於最佳精度狀態，從而確保數控機床的加工質量。

[參考文獻]
[1]茅振華等 數控機床精度的激光幹涉法測試與補償 機電工程，1999(4)：48～49
[2]劉紀苟等 機床定位誤差微處理機補償的研究 中國儀器儀表學會精密機械學會1985年學術討論會，1985(12)

作者簡介：
鍾偉弘(1967-)，女，山東平渡人，天津理工學院講師，碩士。(end)