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電子加工新聞

2KHz IndyStar準分子激光器

激光製造商情 來源:廣東(dong) 星之球2010-12-01 我要評論(0 )   

先進的用於(yu) 掩膜刻寫(xie) 與(yu) 檢測的 2KHz IndyStar 準分子激光器 2kHz 高重複頻率 IndyStar 準分子激光器是半導體(ti) 工業(ye) 中超高精度的 193nm 和 248nm 照明光源。 IndyStar 準分子...

  


 

  先進的用於(yu) 掩膜刻寫(xie) 與(yu) 檢測的2KHz IndyStar準分子激光器

  2kHz高重複頻率IndyStar準分子激光器是半導體(ti) 工業(ye) 中超高精度的193nm248nm照明光源。IndyStar準分子激光器的2kHz重複頻率以及它的高穩定性在基於(yu) 紫外激光生產(chan) 和質量檢測的光掩膜中起到至關(guan) 重要的作用,可獲得更小的微芯片結構。

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