中科院LED照明研究所研製成功LED燈芯片製造的關(guan) 鍵設備MOCVD,使我國LED設備製造進入一個(ge) 新的曆史階段。
MOCVD即金屬有機化合物化學氣相沉積,是生產(chan) LED燈芯片的關(guan) 鍵設備,技術難度極大,目前世界上主要由兩(liang) 家公司壟斷,包括德國Aixtron公司與(yu) 美國的Veeco(Veeco兼並Emcore公司MOCVD業(ye) 務)兩(liang) 家。
MOCVD的技術路線主要有:Aixtron采用行星反應(PlanetaryReactor),Aixtron兼並ThomasSwan的ClosedCoupledShowerhead(CCS)反應室,Veeco公司采用TurboDisc反應室,必須有極高的溫度壓力控製能力,包括對多種氣體(ti) 的量的控製,而且這一切都在一個(ge) 密閉的空間裏實現,顯然難度比起汽車發動機高得多,因此國外很多公司研發多年最終失敗。
由於(yu) 存在技術壟斷及技術壁壘,有關(guan) 廠家采用高價(jia) 策略,以攫取暴利,一套設備以千萬(wan) 計,從(cong) 而最終的LED芯片價(jia) 格居高不下,傳(chuan) 導到下遊使LED燈價(jia) 格也難以降低,最終導致LED燈難以普及,隻能有高端用戶才能享受這種環保節能的照明產(chan) 品。
現在中科院LED照明研究所研製成功的MOCVD,其技術水準已經達到目前市麵銷售的MOCVD的水準,也許比起著名公司儲(chu) 備的新一代MOCVD設備要略差,但顯然已經可以實際商業(ye) 運行了,可以投入LED燈的工業(ye) 化生產(chan) ,最終將導致LED燈價(jia) 格降低,使尋常百姓也能有幸使用這種高科技的環保產(chan) 品。
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