激光微調技術可對指定電阻進行自動精密微調,精度可達0.01%一0.002%,比傳(chuan) 統方法的精度和效率高,成本低。集成電路、傳(chuan) 感器中的電阻是一層電阻薄膜,製造誤差達上15一20%,隻有對之進行修正,才能提高那些高精度器件的成品率。激光可聚焦成很小的光斑,能量集中,加工時對鄰近的元件熱影響極小,不產(chan) 生汙染,又易於(yu) 用計算機控製,因此可以滿足快速微調電阻使之達到精確的預定值的目的。
加工時將激光束聚焦在電阻薄膜上,將物質汽化。微調時首先對電阻進行測量,把數據傳(chuan) 送給計算機,計算機根據預先設計好的修調方法指令光束定位器使激光按一定路徑切割電阻,直至阻值達到設定值,同樣可以用激光技術進行片狀電容的電容量修正及混合集成電路的微調。優(you) 越的定位精度,使激光微調係統在小型化精密線形組合信號器件方麵提高了產(chan) 量和電路功能。
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