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電子加工新聞

激光應用於微電子行業淺析

星之球激光 來源:激光世界2013-02-20 我要評論(0 )   

激光 是20世紀60年代發展起來的一門新興(xing) 科學。它是一種具有亮度高、方向性好、單色性好等特點的相幹光。 激光應用於(yu) 材料加工,使製造業(ye) 發生了根本性變化,解決(jue) 了許多常...

     2012年在全球經濟低迷不振的大環境下,激光器製造商在“經濟餘(yu) 震”中所經曆的不確定性和擔憂,在經濟大衰退之後的幾年內(nei) 將依然存在。然而從(cong) 長遠銷售預期來看,在很多幾乎不受地域或者全球性經濟衰退影響的領域,激光正在作為(wei) 一種成熟的、對經濟增長發揮重要作用的技術,呈現出上揚態勢。盡管預計全球債(zhai) 務危機將會(hui) 限製2013年的某些資本設備支出,但是激光器有望憑借“能實現製造自動化、提高效率、降低能耗,進而使企業(ye) 在經濟風暴中更具競爭(zheng) 力”的優(you) 勢脫穎而出。

  半導體(ti) 製造業(ye) 發展迅速,“綠色”技術無疑具有光明的未來,這就要求有新的激光加工工藝與(yu) 技術來獲得更高的生產(chan) 品質、成品率和產(chan) 量。除了激光係統的不斷發展,新的加工技術和應用、光束傳(chuan) 輸與(yu) 光學係統的改進、激光光束與(yu) 材料之間相互作用的新研究,都是保持綠色技術革新繼續前進所必須的。2013年激光技術在半導體(ti) 行業(ye) 將會(hui) 取得怎樣的成績呢?

  半導體(ti) 市場:黯然神傷(shang)

  雖然智能電子設備組件的微加工將繼續為(wei) 光纖激光器製造商帶來利好勢頭,但是主要依賴於(yu) 半導體(ti) 資本設備采購的激光器製造商,將在2013年遭遇坎坷。

  “隨著半導體(ti) 行業(ye) 從(cong) 45nm轉向20nm甚至更高的節點,需要更多的製造步驟處理更多的層和新材料,這導致資本強度增加。”半導體(ti) 設備暨材料協會(hui) (SEMI)行業(ye) 研究與(yu) 統計高級總監Dan Tracy表示,“2010年和2011年,半導體(ti) 行業(ye) 在產(chan) 能擴充方麵實現了堅挺恢複,同時也轉向了更加先進的工藝技術。而2012年產(chan) 能擴張的減少,為(wei) 半導體(ti) 行業(ye) 帶來了更多不確定性,一些分析師預計2013年半導體(ti) 行業(ye) 的資本支出將出現負增長。”Tracy還補充道,半導體(ti) 資本設備市場存在著周期性,最近報道的設備數據反映了2012年下半年更加低迷的行業(ye) 狀況。2012年10月的訂單出貨比為(wei) 0.75,訂單量約比2011年10月下跌20%。

       “對於(yu) 微電子行業(ye) 來講,2012年將是一分為(wei) 二的年頭,”相幹微電子部門營銷總監David Clark表示,“預計2013年傳(chuan) 統消費電子產(chan) 品,如筆記本電腦、PC、數碼相機、硬盤驅動器和電視機將非常不景氣,但是平板電腦和智能手機以及相關(guan) 組件將會(hui) 以驚人的速度增長。這無疑是個(ge) 好消息,因為(wei) 這些移動設備組件很多都是使用相幹的激光器製造的,相幹的這部分業(ye) 務將會(hui) 繼續強勁增長。”Clark補充說,“如果基於(yu) Windows 8的超級本和平板電腦在企業(ye) 市場獲得真正成功,相信這必將刺激2013年IC銷售額的限製增長。”

  IC Insihts公司也看到了類似趨勢,其預計2013年電子設備的銷售額將增長5%,2012年的增長率為(wei) 3%。Clark對更長遠的趨勢也持樂(le) 觀態度,他表示,“4G-LTE無線網絡建設、互聯網流量的持續增長、雲(yun) 計算的采用一級即將向450nm晶圓的遷移,所有這些都將促使未來幾年內(nei) 半導體(ti) 資本支出方麵出現重大投資。”

  相幹2012年第四財季(截至2012年9月29日)的銷售額,從(cong) 上年同期的2.08億(yi) 美元下降到1.89億(yi) 美元;與(yu) 上個(ge) 季度相比,訂單量下降近23%。相比之下,Newport則由於(yu) 研發市場和工業(ye) 市場的強勁表現而實現了創紀錄的銷售額;當然半導體(ti) 資本支出的疲軟也使其受到了一定影響,其第四財季(截至2012年9月29日)微電子業(ye) 務銷售額比上年同期下降了9.7%,降至1.1億(yi) 美元。

  作為(wei) 一家主要為(wei) 半導體(ti) 行業(ye) 提供光刻光源的供應商,Cymer公司2012年第三季度(截至2012年9月30號)的總營收約為(wei) 1.32億(yi) 美元,基本與(yu) 上年同期持平,但低於(yu) 2012年第二季度1.49億(yi) 美元的總營收。2012年10月,Cymer公司被荷蘭(lan) ASML公司以大約26億(yi) 美元的價(jia) 格收購;2012年第三季度,Cymer出貨了27套紫外係統,並向ASML交付了其首款極紫外光源,曝光功率為(wei) 30W。

  Cymer公司和日本Gigaphoton公司是業(ye) 界領先的極紫外光源製造商,依據摩爾定律,他們(men) 會(hui) 繼續享受業(ye) 務增長。但是研究超短、超高功率激光脈衝(chong) (如用於(yu) 光與(yu) 物質相互作用研究的極強光設施)的激光器製造商,正在尋求超越摩爾定律。

  “早在2007年,來自美國能源部基礎能源科學顧問委員會(hui) 的一份報告就顯示,當集成電路製造達到分子級或納米級的時候,其將遠遠超越摩爾定律的限製。一個(ge) 基於(yu) 納米芯片的超級計算機,可以舒適地握在掌中,且耗電極低。”Calmar Laser公司營銷總監Tim Edwards說,“這使得激光產(chan) 業(ye) 令人興(xing) 奮不已——沒有激光發揮舉(ju) 足輕重的作用,分子尺度的未來將無法實現。飛秒光纖激光器製造商始終致力於(yu) 提升脈衝(chong) 到脈衝(chong) 之間的穩定性,以滿足眼科、光譜、DNA分析、分子成像、薄膜太陽能電池加工以及計量等應用的苛刻要求,所有這些都提供了廣闊的科研激光市場,但是不知為(wei) 何激光市場並未快速增長。”

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