皮秒激光:冷汽化切割方式
脈衝(chong) 皮秒激光在高峰值功率激光束照射下,能量極快地注入很小的作用區域10μm,瞬間高能量密度沉積使電子吸收和運動方式發生變化,避免了激光線性吸收、能量轉移和擴散,從(cong) 根本上改變了激光與(yu) 物質相互作用機製。材料被高峰值功率瞬間加熱迅速升高至氣化溫度而無明顯融化,使得材料以氣體(ti) 的形式從(cong) 材料表麵逸出。激光束經過高速位移的掃描振鏡反射後經平場鏡聚焦在藍寶石表麵,多次重複轉圈運動,逐漸蝕刻藍寶石,材料可完全切透分離。
光纖激光: 熱熔化切割方式
光纖激光功率相對較低,單位能量減少相差100倍到1000倍,被激光照射處的材料產(chan) 生熱熔融化,在高純氮氣的作用下,熔融的材料由切口底部排出。其中氮氣作用1.冷卻,2.加速排屑,提高切透力,氮氣費用300元/24小時。激光束經過導光係統進入切割頭中透鏡聚焦於(yu) 藍寶石表麵,使該處材料迅速熔化,形成孔洞,隨平台的移動,形成切口,借助向下吹的氮氣流將熔化的材料吹除。切割時激光與(yu) 氮氣的作用產(chan) 生瞬間即熱即冷,容易產(chan) 生小裂縫以及邊緣斷裂強度的影響,容易掛渣,使得材料不能徹底切割分離。
皮秒激光器上海致凱捷激光公司致力於(yu) 先進半導體(ti) 激光技術及應用設備的研發、生產(chan) 。公司在皮秒激光器領域具有獨特技術優(you) 勢,加工速度快、精度高。主要應用在藍寶石晶圓切割打孔、薄膜太陽能電池切邊、陶瓷冷燒蝕、ITO膜、平麵顯示器、強化玻璃鑽孔、精密金屬微機械加工, 半導體(ti) 多晶矽切邊、PCB構造、FPC精細鑽孔,實現無可見熱效應和機械變形的“冷加工”。皮秒激光加工時間短到足夠使材料蒸發,使加工材料邊緣無毛刺、微裂紋、變形等缺點。皮秒激光器體(ti) 積小,效率高,運營成本低,穩定可靠。
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