飛秒激光在脈衝(chong) 模式下對玻璃進行自上而下的衝(chong) 擊鑽孔。
據《fun88网页下载》了解,近日,法國波爾多大學強激光與(yu) 應用研究所(CELIA)激光與(yu) 物質相互作用研究小組開發出了一種使用“千兆赫茲(zi) 脈衝(chong) ”模式的飛秒激光進行玻璃微孔鑽孔的新方法。
在《International Journal of Extreme Manufacturing(國際極限製造雜誌)》中有描述,該工藝使用Amplitude的飛秒激光器,在千兆赫脈衝(chong) 範圍內(nei) 運行,以研究一種新的玻璃微加工方法,該方法允許鑽出無錐度的細長孔,內(nei) 壁光滑,無任何裂紋玻璃。
通常,使用標準單飛秒脈衝(chong) 的激光鑽孔會(hui) 產(chan) 生長度非常有限且內(nei) 表麵粗糙的錐形孔。
無需化學蝕刻
這種新的激光與(yu) 物質相互作用機製允許在一個(ge) 步驟中直接鑽出高縱橫比的孔,而無需任何化學蝕刻。激光脈衝(chong) 串參數的選擇對於(yu) 實現加工結構的出色微加工質量非常重要。
飛秒激光 GHz-burst 模式可以為(wei) 新應用鋪平道路,例如微電子,在這些應用中,矽中介層可能會(hui) 被玻璃中介層取代。
飛秒激光以千兆赫茲(zi) 脈衝(chong) 而不是重複的單脈衝(chong) 運行,能夠與(yu) 玻璃材料相互作用,結合兩(liang) 個(ge) 優(you) 點:材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內(nei) ,從(cong) 而產(chan) 生高效、可控的累積狀態,而飛秒激光脈衝(chong) 出色的微加工質量得以保留。由此產(chan) 生的自上而下的衝(chong) 擊鑽孔可提供無錐度、細長且無裂紋且內(nei) 壁光滑的孔。
CELIA簡介
CELIA 是激光及其與(yu) 物質相互作用的卓越中心。對激光開發、超短強激光物質相互作用和應用進行研究,從(cong) 熱致密等離子體(ti) 的物理學到激光-分子或激光-原子相互作用。三個(ge) 基於(yu) Ti:sapphire 和 Yb:fiber 的最先進激光驅動器為(wei) 九個(ge) 設備齊全的終端站供電,包括二次 XUV 和 X 射線源。
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