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技術前沿

上海微係統所衛星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進展

fun88网页下载 來源:每日經濟新聞2025-05-07 我要評論(0 )   

據“中國科學院上海微係統”公眾(zhong) 號消息,中國科學院上海微係統與(yu) 信息技術研究所傳(chuan) 感器技術全國重點實驗室在集成角度傳(chuan) 感器的高性能MEMS快反鏡研製方麵取得重要進展。製...

據“中國科學院上海微係統”公眾(zhong) 號消息,中國科學院上海微係統與(yu) 信息技術研究所傳(chuan) 感器技術全國重點實驗室在集成角度傳(chuan) 感器的高性能MEMS快反鏡研製方麵取得重要進展。製備的MEMS快反鏡鏡麵尺寸大,封裝體(ti) 積小,並具備良好的線性度、角分辨率、響應速度、重複定位精度和鏡麵動態形變,同時集成了高靈敏度角度傳(chuan) 感器,能夠實現更精確的激光光束閉環控製,在激光衛星通信方麵具有巨大的應用潛力。

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